2025新品
Cluster pvd(薄膜沉积设备）
产品简介：1.具备成熟、可靠、低成本、高产能、7/24连续运行的薄膜沉积系统
2.欧美工业生产验证的、多种成熟的、2-8英寸的RF、DC、PDC、反应等薄
膜沉积工艺
3.可定制化的系统、腔体、部件及其功能构成
4.全自动、符合半导体SEMI行业标准的工业控制软件
5.广泛应用于半导体、光学、压电、磁学等MEMS器件制造
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产品分类
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应用领域
