2025新品
例离子刻蚀机（IBE）
产品简介：1.广泛适用所有材料刻蚀，包括RIE难以刻蚀的Au、Pt、Mo等难熔金属、Fe、
Co、Ni等磁性材料/陶瓷、氧化物、多层膜、倾斜光栅等。
2.成熟、 可靠、 低 成本、高产能、7/24连续运行的薄膜刻蚀系统
3. 欧美工业生产验证的、 多种成熟的薄膜刻蚀工艺
4.杰出的薄膜刻蚀均匀性和重复性
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产品分类
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