产品简介：
来料洁净度 (材料)：
电子级化学品
电子级大宗气体，特气纯度
无尘用品清洁度
晶圆盒 FOUP / 包装材料
Outgassing 材料释气
SEMI F57 用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件
ISO 12500 压缩空气过滤器性能
HVAC, HEPA, ULPA 滤网性能评估 (H13, H14, U15～U17 等级认证)
化学过滤器性能

洁净间微污染 (环境)：
UPW 超纯水 / 电子级水 / DI 水
高规格实验室用水
化学药剂
AMC 气相分子污染物
ISO 8673 压缩干空气 CDA/XCDA
制程尾气 (Local Scrubber)
Bulk Gas, Special Gas
洁净室 ISO Class 等级验证

洁净间设备及晶圆洁净度：
ISO 14644-14 设备动态洁净度 Class 等级符合性验证(AGV 小车，机械臂，滑台 / 滑轨，拖链等)
PCB 板离子清洁度
硅片表面金杂 / 离子
半导体制程设备 SEMI S2, S6, S8 验证