产品简介：SPA6100半导体参数分析仪是武汉普赛斯自主研发、精益打造的一款半导体电学特性测试系统，具有高精度、宽测量范围、快速灵活、兼容性强等优势。产品可以同时支持DC电流-电压（I-V）、电容-电压（C-V）以及高流高压下脉冲式I-V特性的测试，旨在帮助加快前沿材料研究、半导体芯片器件设计以及先进工艺的开发，具有卓越的测量效率与可靠性。基于模块化的体系结构设计，SPA6100半导体参数分析仪可以帮助用户根据测试需要，灵活选配测量单元进行升级。产品支持最高1200V电压、30A大电流、1pA小电流分辨率的测量，同时检测1kHz至2MHz范围内的多频AC电容测量。