概伦电子

FS800器件参数分析仪是概伦电子的新一代半导体器件电学特性分析设备。该设备采用自主研发的测试硬件架构和数据总线，支持自主研发的高精度SMU等测试模块，具有功能全面配置灵活的特点，在一台设备中实现了电流电压（IV）测试、电容电压（CV）测试、快速波形发生与测试以及高速时域信号采集，可广泛应用于新材料和新器件研究、电性参数测试、器件模型数据测试、可靠性测试等领域。概伦测试硬件架构和数据总线针对高密度自动化测试进行了系统优化，最多可支持24个SMU，还可以集成低漏电矩阵开关模块，在单台台式设备内即可完成晶圆级器件电性参数的自动化测试，并行测试或是阵列器件的自动切换测试。仪器内置的LabExpress电性参数测试软件不仅具有人性化的图形界面和丰富的内置测试算法库，还可以通过灵活的脚本化编程平台继续扩展测试功能，定制测试流程。FS800全面而灵活的测试分析能力可极大地加速半导体器件与工艺的研发评估进程，满足各类半导体实验室和产线测试需要。

概伦电子噪声测试系统981X系列是全球半导体行业低频噪声测试的“黄金标准”。先进宽带噪声分析仪9812HF™采用软硬件创新设计，继承了该系列高精度、宽阻抗测量能力的同时，将低频噪声测试系统的应用频域拓展到了甚高频，旨在为半导体行业的先进工艺制程优化、建模验证设计、评估电路性能等方面日益增长的高带宽噪声测试和分析需求，提供更加精准全面的数据支撑。
9812HF™ 先进宽带噪声分析仪，内置多种不同应用导向的电流和电压放大器，创新性地引入了高精度甚高频放大器，可高效实现噪声功率谱的1/f噪声、热噪声、RTN噪声测量，领先的复合设计，支持随应用智能无感切换，满足不同电压噪声测试和电流噪声测试的多样严苛应用需求；该设备支持适配不同阻抗器件在广泛的工作条件下的噪声测试，支持晶圆级高精度测试，可满足各种不同工艺平台下半导体器件和集成电路，从时域到频域，从超低频到甚高频，从数据采集到数据分析的全面噪声测量需求。
另外，9812HF™还可以通过并行测试架构解决方案以及协同概伦电子半导体参数测试系统等方式，大幅度地提高测试效率和吞吐量，降低测试成本，加快创新进程。

概伦电子噪声测试系统 981X 系列是全球半导体行业低频噪声测试的“黄金标准”。最新型号9813DXC 为半导体行业先进工艺研发、器件建模和高端电路设计提供了更加完整而又高效的低频噪声测试及分析解决方案，可以满足各种不同工艺平台下半导体器件和集成电路低频噪声测试的需求。
9813DXC 作为单一完整的低频噪声测试系统，适用于多种半导体器件类型在各种工作条件下(如 200V 高压、10pA 极低电流等 )的高精度、带宽噪声测试，支持晶圆级噪声测试精度和测试带宽，最低测试噪声电流精度低至10-27A2/Hz。其测试应用广泛，是市面少有可同时覆盖10Ω 到 10MΩ 高阻抗器件和低阻抗器件测试的设备。
针对半导体先进工艺制程节点特别是 FinFET 工艺下对低频噪声测试需求“爆炸式”增长的挑战，9813DXC 通过软硬件创新设计，不仅将典型噪声测试速度提高至一个偏置条件下仅需20s，还将最高测试电压提高到200V 从而使应用场景更加广泛。该系统可在短时间内获得更加精确可信的测试数据，另外还可以通过并行测试架构解决方案以及协同FS-Pro 半导体参数测试系统等方式大幅度提高测试效率和吞吐量。