产品简介：概伦电子噪声测试系统 981X 系列是全球半导体行业低频噪声测试的“黄金标准”。最新型号9813DXC 为半导体行业先进工艺研发、器件建模和高端电路设计提供了更加完整而又高效的低频噪声测试及分析解决方案，可以满足各种不同工艺平台下半导体器件和集成电路低频噪声测试的需求。
9813DXC 作为单一完整的低频噪声测试系统，适用于多种半导体器件类型在各种工作条件下(如 200V 高压、10pA 极低电流等 )的高精度、带宽噪声测试，支持晶圆级噪声测试精度和测试带宽，最低测试噪声电流精度低至10-27A2/Hz。其测试应用广泛，是市面少有可同时覆盖10Ω 到 10MΩ 高阻抗器件和低阻抗器件测试的设备。
针对半导体先进工艺制程节点特别是 FinFET 工艺下对低频噪声测试需求“爆炸式”增长的挑战，9813DXC 通过软硬件创新设计，不仅将典型噪声测试速度提高至一个偏置条件下仅需20s，还将最高测试电压提高到200V 从而使应用场景更加广泛。该系统可在短时间内获得更加精确可信的测试数据，另外还可以通过并行测试架构解决方案以及协同FS-Pro 半导体参数测试系统等方式大幅度提高测试效率和吞吐量。