

常规产品
面陶瓷转接板(TCV)
产品简介:公司研发的陶瓷转接板(TCV)首先采用激光在陶瓷基片上打孔,然后利用真空溅射技术在基片表面沉积金属种子层,接着以光刻、显影、刻蚀等工艺完成线路制作,通过电镀增加线路层厚度,最后去除干膜和种子层,得到含金属线路层的陶瓷基板。TCV陶瓷基板制备前端采用半导体微加工技术(激光打孔、溅射镀膜、光刻显影、化学刻蚀等)形成高精度图形,后端采用印刷线路板(PCB)工艺(电镀、填孔、磨板等)增加金属线路层厚度与平整度,技术优势明显。
TCV陶瓷基板技术优势包括:
1)材料性能优良:TCV陶瓷基板直接在陶瓷基片上制备金属线路层,拥有陶瓷材料的导热/耐热、高绝缘、耐腐蚀、抗辐射等技术优势;
2)图形精度高:采用半导体微加工技术,具有图形精度高(线宽/线距30-50um,取决于金属层厚度),表面平整度高(磨板后达到 0.3um/mm),适合高精密电子器件封装需求;
3)可垂直互连:采用激光打孔(孔径60-120um)和电镀填孔技术,实现陶瓷基板上下表面垂直互联,满足器件小型化、集成化封装需求,是一种真正的陶瓷电路板;
4)材料与工艺兼容性好:采用低温制备工艺(300℃以下),对不同陶瓷材料(氧化铝、氮化铝、氮化硅等)和工艺(薄膜陶瓷工艺、CMOS芯片工艺等)兼容性好;
5)产品适用性广:采用真空溅射沉积工艺,金属-陶瓷结合强度高(20 MPa),金属线路层厚度可控(10-300um),满足高温、大电流、大温变应用需求。