等离子去胶机-慕尼黑展览

2025新品

等离子去胶机

产品简介：NE-RE08是一款干法等离子去胶设备，适用于4/6/8英寸晶圆光刻胶去除和灰化工艺。设备采用高密度RIE等离子体刻蚀系统，具有去胶速率快、均匀性好、选择比高、不错的各向异性等性能优势。

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