产品简介：1.精密探针头，针尖的半径范围广，单独的针头压力调节，高击穿电
压，低泄露，多种针尖间距和排列，碳化钨或锇合金针尖，维修和
配置服务
2.探头压力传感器，实时监测探头压力，有效防止因压力过大导致被
测样品碎裂。机器三轴伺服电机控制，高精度走位。
3.图谱功能画面，制图软件可根据样品形状，测量点数量和位置，测
量点的方组值绘制出等高线图，2dmap，3dmap。
4.四探针探头可测范围： 1mΩ/sq-5MΩ/sq
5.双电流模式，抵消针尖漂移导致测量偏差。 边缘效应修正。
6.适合 4 / 6 / 8 / 12 英寸晶圆的方阻、电阻率、电导率、膜厚进行测
量，以及高电阻材料的电阻测量等。在光伏、半导体、合金、导电
膜等诸多领域都有应用。